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wt-online - Ausgabe 3-2018, S. 174-179

Kompletter Beitrag im pdf-Format 174_89145.pdf

Ultrapräzisionsbearbeitung, Forschung

Effizientes chemisch-mechanisches Polieren (CMP)*

Gesteigerte Effizienz durch kleine Mengen anforderungsgerecht ausgewählter konditionierter Poliersuspensionen

Das chemo-mechanische Polieren spielt eine wichtige Rolle bei der Fertigung hochpräziser, optisch wirksamer Oberflächen. Die benötigte Poliersuspension wird meist zentral für alle Prozesse bereitgestellt und vorbereitet. So ist es nicht möglich, die Suspension in Art und Kondition an die zu bearbeitenden Materialien anzupassen. Dieser Fachbeitrag widmet sich den Möglichkeiten und Herausforderungen, die der Einsatz kleiner Mengen aufgabenspezifisch konditionierter Poliermittel bietet.

Efficient chemo-mechanical polishing - Greater efficiency by small amounts of well-elected and conditioned polishing suspension

Chemo-mechanical polishing plays a vital role in the production of highly precise, optically effective surfaces. The polishing suspension for this is usually prepared for all processes in one place. Thus, it is not possible to adjust the suspension in type and condition to the materials to be processed. This article addresses the opportunities and challenges offered by using small amounts of selectively conditioned polishing slurry.

Autor:
Trum, C.; Rascher, R.; Zäh, M. F.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 3-2018, Seite 174-179
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