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wt-online - Ausgabe 11/12-2013, S. 834-840

Kompletter Beitrag im pdf-Format 834_75882.pdf

Fertigungsmesstechnik, Mikrotechnik

Quasitaktile 3-D-Mikro- und Nanosensoriksowie deren Anwendung*

Messaufgaben der Mikro- und Nanomesstechnik stellen mit sinkenden Strukturgrößen und steigenden Aspektverhältnissen die verfügbare Sensorik vor eine offene Problemstellung. Als Lösung entstanden – durch Miniaturisierung von Tastsystemen klassischer Koordinatenmessgeräte – mikrotaktile 3-D-Tastsysteme. Deren Einsatz unterliegt durch die mechanische Antastwechselwirkung Grenzen, zu deren Überwindung ein quasitaktiles 3-D-Antastsystem auf Basis elektrischer Nahfeldwechselwirkung entwickelt wurde.

Quasi-tactile 3D micro and nanosensors and their application

Measurement tasks in micro and nano metrology with decreasing structural dimensions and increasing aspect ratios pose an unresolved problem for available sensors. As a solution tactile probes of coordinate measuring machines were miniaturized resulting in microtactile 3D probes. Their application is limited due to the mechanical probing interaction. To lift this restriction a quasi-tactile 3D probing system based on electrical near-field interaction was developed.

Autor:
Schüler, A.; Weckenmann, A.; Hausotte, T.; Hoffmann, J.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 11/12-2013, Seite 834-840
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