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wt-online - Ausgabe 05-2004, S. 204

Kompletter Beitrag im pdf-Format 204.pdf

Mikrosystemtechnik, Antriebstechnik, Führungen

Aerostatische Führungen für Mikrosysteme *

Entwurf und Untersuchung der Eigenschaften

Es wird der Aufbau einer prototypischen aerostatischen Linearführung für Mikrosysteme vorgestellt. Die Führung mit den Abmessungen 8,4 x 1 mm besitzt segmentierte Führungsflächen, die aus porösen Keramikplatten (Al2O3) gefertigt sind. Jede Führungsseite wurde aus vier Platten durch Kleben zusammengesetzt und anschließend auf Maß geschliffen. Die Luft wird zu jedem Segment durch Kapillaren zugeführt. Es konnte gezeigt werden, dass der Läufer auf einem Verfahrweg von 4 mm aerostatisch geführt werden kann. Die statische Steifigkeit der Führung und ihr Schwingungsverhalten wurden ermittelt.

Aerostatic guidance for microsystems – Design and investigation of characteristics

A prototype of an aerostatic linear guidance for microsystems is presented. The guidance with dimensions of 8.4x1 mm features segmented surfaces made of porous ceramics (Al2O3). Each guideway uses four plates and was manufactured by gluing and afterwards grinding. The air is led to each segment’s surface by capillaries. This prototype shows that the carriage can be aerostatically led along a traverse path of 4 mm. The static stiffness and the vibration behavior of the guidance were determined.

Autor:
Denkena, B.; Kopp, D.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 05-2004, Seite 204
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