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wt-online - Ausgabe 11/12-2012, S. 777-782

Kompletter Beitrag im pdf-Format 777_70192.pdf

Messtechnik, Qualitätssicherung, Oberflächentechnik

Messen und Prüfen mit Licht *

Optische 3D-Formmesstechniken – hochauflösend, berührungslos und schnell

Optische Messtechniken arbeiten berührungslos und zerstörungsfrei. Sie können unter industriellen Bedingungen zur Prozess- und Endkontrolle eingesetzt werden. Die hier beschriebenen Messverfahren arbeiten flächig und damit auch schnell. Bei streuenden Oberflächen erlaubt die Streifenprojektion Formmessunsicherheiten bis in den µm-Bereich. Spiegelnde Oberflächen werden mittels Streifenreflexion ähnlich genau gemessen und mit einer Empfindlichkeit im nm-Bereich geprüft.

Shape measurement and part inspection using light

Optical metrology techniques are contactless and non-destructive, and can be employed in industrial settings for process control and final inspection. Because of their full-field approach, the techniques described here are very fast. For rough surfaces, fringe projection systems generate form data with µm uncertainty. Reflective surfaces can be measured with similar accuracy using the fringe reflection technique, which also allows inspection with sensitivity in the nm range.

Autor:
Sandner, M.; Burke, J.; Kopylow, C. von; Bergmann, R. B.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 11/12-2012, Seite 777-782
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