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wt-online - Ausgabe 6-2012, S. 390-395

Kompletter Beitrag im pdf-Format 390_67971.pdf

Ultrapräzisionsbearbeitung, Drehen, Werkstoffe

Diamantdrehen diffraktiver Mikrostrukturen *

„Fast-Tool-Servo“-unterstützte Ultrapräzisionszerspanung zur Fertigung diffraktiver optischer Elemente

Ultrapräzise Diamantdrehprozesse erlauben die Fertigung optischer Oberflächen. Wird dieser Prozess um eine hochdynamische Werkzeugverstellung ergänzt, kann die Schnitttiefe in Abhängigkeit vom Drehwinkel des Werkstücks variiert und eine Mikrostruktur generiert werden. Auf diese Weise hergestellte diffraktive optische Elemente werden unter anderem zur Strahlformung verwendet. Eine neue Anwendung ist der Einsatz der diamantgedrehten Mikrostrukturen als Phasenmasken in der UV (Ultraviolett)-Lithografie.

Diamond turning of diffractive microstructures

Ultraprecision diamond turning is a suitable process for the machining of optical surfaces. Adding a highly dynamic tool actuator enables the variation of the depth of cut with sub-micrometer accuracy, and thus, the machining of microstructured surfaces. Diffractive optical elements generated by this process can be applied for beam shaping or as individual optical security features. A novel application uses diamond turned microstructures as phasemasks for UV-photolithography.

Autor:
Brinksmeier, E.; Riemer, O.; Gläbe, R.; Koerdt, M.; Kibben, S.; Meier, A.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 6-2012, Seite 390-395
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