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wt-online - Ausgabe 11/12-2010, S. 847-852

Kompletter Beitrag im pdf-Format 847_57725.pdf

Mikrosystemtechnik, Laserbearbeitung, Werkstoffe

Löcher beim Mikrolaserabtragen vermeiden *

Einfluss von Werkstückmaterial und Fokuslage auf die Bildung unerwünschter Löcher

Die voranschreitende Miniaturisierung fordert immer kleinere Bauteile aus verschiedenartigsten Materialien. Mikrolaserabtragen ermöglicht unabhängig von Härte und Festigkeit der Materialien berührungslos und damit nahezu kraftfrei die Herstellung kleinster Kavitäten. Oft treten jedoch beim Laserabtragen unerwünschte Löcher in den bearbeiteten Kavitäten auf, deren Ursache nicht hinreichend geklärt ist. Ziel der Untersuchung ist es, den Einfluss von Fokuslage und Werkstückmaterial auf die Bildung von scheinbar stochastisch auftretenden Löchern bei gleichbleibenden Parametereinstellungen aufzuzeigen.

Influence of material and focal position on formation of undesired holes during micro laser ablation

Due to the ongoing miniaturization micro parts manufactured from different materials are more and more requested. By micro laser ablation materials can be manufactured regardless of their hardness and mechanical properties nearly without any influencing forces due to the non contact machining process. However, during laser ablation undesired deep holes arise frequently in the ablated cavities, their cause is not sufficiently understood yet. The aim of this study is to investigate the influence of focal position while machining and used material and resulting formation mechanisms of these deep holes and to give advices for prevention of hole formation during micro laser ablation.

Autor:
Schulze, V.; Weber, P.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 11/12-2010, Seite 847-852
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