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wt-online - Ausgabe 11/12-2002, S. 645

Kompletter Beitrag im pdf-Format 645.pdf

Fertigungstechnik, Mikrosystemtechnik, Forschung

Aktive Führungen für Mikrosysteme

Untersuchungen zur Auslegung und Fertigungsentwicklung

Um die Reibung in Mikrosystemen zu verringern, eignen sich aerostatische Führungen. Erkenntnisse über diese Art von Führungssystemen bestehen jedoch weitgehend nur im makroskopischen Bereich. Das Ermitteln des Einflusses von Skalierungseffekten bis hin unter in den µm-Bereich ist Inhalt dieses Beitrags. Dies umfasst sowohl experimentelle Untersuchungen zur Auslegung der Mikroführungen als auch die Entwicklung einer geeigneten Fertigungstechnologie.

Active guidance for microsystems – Investigations in design and production development

To reduce friction in microsystems the use of aerostatic guidance is advantageous. But only little is known about this kind of guidance apart from the macroscopic range. This contribution deals with the determination of scaling effects and their influence down in the µm-range. This includes both experimental investigations of the micro guidance and the development of a suitable production technology.

Autor:
Denkena, B.; Kopp, D.; Reichstein, M.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 11/12-2002, Seite 645
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