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wt-online - Ausgabe 6-2009, S. 396-402

Kompletter Beitrag im pdf-Format 396_49216.pdf

Forschung, Fertigungstechnik, Schleifen

Rotationsschleifen von Saphirwafern

Ein innovativer Ansatz zur Prozesskettenoptimierung

Monokristallines Saphir verfügt über ein hohes Potential in der Leuchtdioden (LED)- und Mobilfunktechnologie, ist aber ein extrem schwierig zu bearbeitendes Material. Die heute übliche Prozesskette zur Herstellung und Prozessierung von Saphirwafern umfasst einen Läppprozess, bei dem ausgeprägte Tiefenschädigungen im Substrat entstehen. Diese verursachen bei der weiteren Prozessierung hohe Kosten und limitieren zudem die Effizienz der Endprodukte. Am Fraunhofer IPT wird daher die Adaption des Rotationsschleifens für den Werkstoff Saphir erforscht.

Rotational grinding of sapphire wafers – An innovative approach to process chain optimisation

Monocrystalline sapphire shows a huge potential for LED and mobile communication technologies. However, it is extremely difficult to machine this material. Today’s process chain contains a lapping step causing vast sub surface damages inside the substrate. This leads to high costs in the following process steps and limited efficiency of the finished products. Therefore the Fraunhofer IPT investigates the adaption of rotational grinding for the material of sapphire.

Autor:
Klocke, F.; Dambon, O.; Herben, M.; Wilbert, A.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 6-2009, Seite 396-402
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