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wt-online - Ausgabe 11/12-2008, S. 933-937

Kompletter Beitrag im pdf-Format 933_45127.pdf

Mikrosystemtechnik, Messtechnik, Finite-Elemente-Methode (FEM)

Wegsensoren für aktive Mikrolinearführungen *

Entwurf kapazitiver Wegsensoren zum Einsatz in Führungen für Mikrosysteme

Dieser Fachbeitrag stellt den Entwurf eines miniaturisierten Abstandsmesssystems auf kapazitiver Basis und die Ergebnisse der elektrostatischen FE (Finite Elemente)-Simulation der Systemeigenschaften vor. Beim Entwurf des Messsystems sind die besonderen Anforderungen von Mikrosystemen hinsichtlich des verfügbaren Bauraums, des daraus resultierenden Messbereiches sowie die Kompensation von Störgrößen zu berücksichtigen. Eine Untersuchung der Systementwürfe in der FE-Simulation gibt Aufschluss über die zu erwartende Sensitivität und Störgrößenunterdrückung bei variierenden Strukturparametern und erlaubt so eine entsprechende Optimierung.

Design of a capacitive air gap measurement system for micro guidances

The design of a miniaturized air gap measurement system and the results of electrostatic Finite-Element-investigations of the system behaviour are presented in this paper. In the design process of the air gap sensor the special demands of microsystems in regard to available space, the resulting measurement ranges as well as the compensation of disturbances have to be considered. By analysing different system layouts in the FE-simulations, expected sensitivity and disturbance compensation at varying structural parameters can be obtained to use for an optimization.

Autor:
Denkena, B.; Kayapinar, H.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 11/12-2008, Seite 933-937
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