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wt-online - Ausgabe 11/12-2007, S. 868-872

Kompletter Beitrag im pdf-Format 868_38786.pdf

Mikrosystemtechnik, Flexible Fertigungssysteme, Fertigungstechnik

Elektronenstrahlbasierte Fertigung von Mikroprodukten *

Schweiß-, Bohr- und Abtragprozesse im Mikroproduktionszentrum

Elektronenstrahlschweißen bietet im Gegensatz zu anderen Verfahren die Möglichkeit, ein hohes Aspektverhältnis zu erzielen und vielseitige Materialien zu bearbeiten. Das hier vorgestellte Mikroproduktionszentrum überträgt das Fertigungsverfahren „Elektronenstrahlschweißen“ in den Mikrobereich, wo der Elektronenstrahl neben Schweißprozessen auch zum Bohren und Abtragen eingesetzt werden kann.

Production of microproducts based on electron beam – Welding, drilling and ablation processes in one micro production centre

In contradiction to other production processes electron beam welding has the advantage of a high aspect ratio. This and other advantages can be used for parts in the range of micrometres. Because the field of micro techniques is steadily growing, the electron beam shall also be used for smaller components. This paper presents a micro production centre which transfers this technique for MEMS production. There, the electron beam can be used for welding, but also drilling or milling.

Autor:
Böhm, S.; Tanasie, G.; Reinhart, G.; Reiter, A.; Franzkowiak, M.; Löwer, T.; Bärtle, J.; Fricke, S.; Müller, G.; Friedberger, A.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 11/12-2007, Seite 868-872
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