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wt-online - Ausgabe 3-2007, S. 130-135

Kompletter Beitrag im pdf-Format 130_34574.pdf

Materialprüfung, Mikrosystemtechnik, Qualitätssicherung

Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen *

Verfahren zur Beurteilung des Partikelemissionsverhaltens bei tribologischer Belastung

Im Reinraum eingesetzte Anlagen sind so zu gestalten, dass die von ihnen ausgehende Partikelemission minimal ist. Die Partikelemission kann vor allem durch eine geeignete Werkstoffauswahl der aneinander reibenden Komponenten reduziert werden. Hierfür stehen bislang aber noch keine substanziierten Werkstofflisten zur Verfügung. Abhilfe schafft gegenwärtig ein vom Fraunhofer IPA entwickeltes Verfahren zur Beurteilung der Partikelemission von Werkstoffpaarungen bei tribologischer Belastung.

Materials for use in clean conditions – Method using tribological loading to assess emission particle behavior

Equipment used in cleanrooms has to be designed in such a way so as to minimise particulate emission from them. Particle emission can be especially reduced by selecting suitable materials for components which rub against one another. However, up till now there have been no substantiated lists of suitable materials available. A solution has now been found to the problem by the Fraunhofer IPA which has developed a standardized procedure for assessing particle emissions from material pairings during tribological stress.

Autor:
Westkämper, E.; Smolinski, D.; Kreck, G.; Gommel, U.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 3-2007, Seite 130-135
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