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wt-online - Ausgabe 3-2007, S. 120-125

Kompletter Beitrag im pdf-Format 120_34559.pdf

Mikrosystemtechnik, Lager, Produktentwicklung

Entwicklung und Fertigung eines aerostatischen Mikrolagers mit mehreren Düsen *

Dieser Fachbeitrag stellt die Ergebnisse zum Entwurf eines aerostatischen Mikrolagers, der FE (Finite Elemente)-Simulation des Lagerverhaltens, der spanenden Fertigung sowie der anschließenden Kraftmessung am realen Lager vor. Die Simulationen zeigen einen großen Einfluss des Bohrungsdurchmessers und der Nuttiefe auf die Lagerkraft und -steifigkeit. Für die Fertigung ausgewählter Lagerkonzepte wurde das Verfahren der Kontakterosion zur Einsatzvorbereitung der Schleifscheiben für den Nutenschliff sowie CVD-Diamantschleifstifte zur Herstellung der Mikrobohrungen entwickelt. Die in den anschließenden Untersuchungen am realen Lager nachgewiesenen Lagerkräfte und die Lagersteifigkeit genügen den Anforderungen eines Mikrosystems.

Development and manufacturing of an aerostatic micro bearing with multiple nozzles

The design, FE-simulation, manufacturing and force measurement of an aerostatic micro bearing with multiple nozzles are presented in this paper. The simulation results show a great influence of the nozzle diameter and the groove depth on the bearing force and stiffness. The process electro contact discharge dressing (ECDD) for diamond grinding wheels and CVD diamond grinding drills were developed for the manufacturing of the bearing. ECDD is used to dress and profile the grinding wheel for groove grinding. The CVD diamond grinding drills are used for nozzle drilling. The measurement of the aerostatic bearing shows a sufficient bearing force and stiffness for a micro system.

Autor:
Denkena, B.; Hoffmeister, H.-W.; Li, J.; Bütefisch, S.; Reichstein, M.; Hlavac, M.; Hahmann, D.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 3-2007, Seite 120-125
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