Verlag > Werkstattstechnik online > Premiumartikel
   

wt-online - Ausgabe 9-2006, S. 613-617

Kompletter Beitrag im pdf-Format 613_31503.pdf

Mikrosystemtechnik, Flexible Fertigungssysteme, Handhabungstechnik

Universelles Mikroproduktionszentrum

Flexible Handhabungsmittel für die Mikro-Elektronenstrahlbearbeitung

Aufgrund des hohen technologischen und finanziellen Aufwands zur Herstellung von Mikrosystemen besteht ein Bedarf an neuen, (kosten-)effizienten Prozessen und Anlagen. Im Rahmen des Forschungsprojekts „MikroProdZ“ wird eine universelle Produktionsanlage entwickelt, in welcher der Elektronenstrahl als flexibles Werkzeug durchgängige Prozessketten zur Herstellung von Mikrosystemen ermöglicht. Die hierfür erforderlichen flexiblen Handhabungsmittel werden in diesem Fachbeitrag vorgestellt.

Universal micro production system – Flexible handling solutions for the electron beam processing of micro parts

Due to the high technological and financial effort for manufacturing micro systems there is a need of cost-effective processes and production systems. The objective of the research projekt “MikroProdZ” is the design of a universal production system in which the electron beam as a flexible tool provides for a continuous chain of production. The required flexible handling system is presented in this paper.

Autor:
Zäh, M. F.; Franzkowiak, M.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 9-2006, Seite 613-617
Sie können diese Ausgabe gerne bei uns bestellen.


IMPRESSUM  |  DATENSCHUTZ  |  © VDI Fachmedien GmbH & Co. KG 2019
Login für registrierte Benutzer

Passwort vergessen?

Sind Sie neu hier?