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wt-online - Ausgabe 03-2005, S. 150

Kompletter Beitrag im pdf-Format 150_2214.pdf

Materialprüfung, Mikrosystemtechnik, Qualitätssicherung

Reinraumtaugliche Werkstoffe

Test- und Klassifizierungsverfahren

Um die Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für konta minationsempfindliche Mikrosysteme zu unterstützen, werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien geachtet wird. Diesem Umstand wird mit einem standardisierten Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengewirkt.

Cleanroom suitable materials – Verification and classification methods

To support the industry in the construction of equipment for contamination sensitive micromechanical systems, there is a need for cleanroom-suitable materials. To date there are no lists of materials available worldwide. As a result, equipment manufacturers are forced to select cleanroom- suitable materials purely from a visual point of view which have not been scientifically proven. This gap shall be closed by standardized tests methods for evaluating the cleanroom suitability of materials.

Autor:
Gommel, U.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 03-2005, Seite 150
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