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wt-online - Ausgabe 09-2000, S. 340

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Logistik, Montage, Handhabungstechnik, Mikrosystemtechnik

Mikromontage als Schlüsseltechnologie

Die Handhabung und hochpräzise Montage von Bauteilen sowie das automatisierte Handhaben von Wafern in der Fertigung sind Kernprozesse für das wirtschaftliche Fertigen von Mikrosystemen. Die Berücksichtigung der speziellen Eigenschaften dieser Systeme werden beispielhaft anhand der berührungslosen Handhabung von Wafern, speziellen Strategien und Werkzeugen für die Mikromontage sowie der Entwicklung eines neuen Handhabungssystems gezeigt.

Micro Assembly as Key Technology

The handling and highly precise assembly of components and the automated handling of wafers are the principle items for the economic manufacturing of microsystems. The special characteristics of these systems are considered for example with the contactless handling of wafers, special strategies and tools for the micro assembly, as well as the development of a new handling system.

Autor:
Reinhart, G.; Jacob, D.; Zimmermann, J.; Soetebier, S.

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
wt-online 09-2000, Seite 340
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